НПК «Наука» → Установки тонкой очистки азота, инертных газов и газовых смесей

Предназначены для глубокой очистки азота, аргона, гелия, газовых смесей от микропримесей влаги, кислорода, оксида и диоксида углерода и механических примесей.

Применяются в производствах изделий электронной техники, в электроламповых производствах, при получении особо чистых газов, очистке газовых смесей и т.п.

Значение суммарной объёмной доли очищаемых химических примесей в подаваемых на очистку газах составляет не более 100 ppmᵥ , содержание частиц мехпримесей — не нормируется.

Очистка газов от влаги в установках осуществляется её адсорбцией на молекулярных ситах. Очистка от кислорода, оксида и диоксида углерода — хемосорбционным взаимодействием с поглотителем. Очистка от механических примесей — фильтрованием.

Остаточное содержание указанных химпримесей в очищенных газах или газовых смесях составляет менее 10 ppbᵥ.

Выпускаются установки как с ручным управлением технологическими процессами, так и полностью автоматические.

Примером установок с ручным управлением является установка «СИДОР-50/150», успешно эксплуатируемая при получении особо чистого аргона при рабочем давлении 150 кгс/см². На лицевой стороне корпуса выведены органы индикации параметров и органы управления.

Полностью автоматические установки выпускаются для работы с газами под давлением до 10 кгс/см². Производительность — до 40 нм³/ч. Примером таких установок являются установки «УТОА-40/10А», успешно эксплуатируемые в качестве средств финишной очистки азота в электронной промышленности и электроламповом производстве.

На лицевой панели корпуса таких установок расположен TFT LCD монитор с сенсорным экраном, кнопка включения сети, кнопка «СТОП», панель гигрометра и световая сигнализация «ВНИМАНИЕ» и «АВАРИЯ».

На сенсорном экране отображаются анимированная технологическая схема установки, положение клапанов, состояние аппаратов и значения всех контролируемых параметров в режиме реального времени. В нижней части экрана располагается меню управления, предназначенное для изменения технологических параметров, управления работой установки вручную, контролирования динамики изменения различных технологических параметров.

Дружественный интерфейс программного обеспечения позволяет эксплуатационному персоналу быстро освоить и правильно эксплуатировать установку.

Проверенная в ходе длительной эксплуатации система управления, сигнализации и блокировок обеспечивает безопасную эксплуатацию установки даже в случае неверных действий обслуживающего персонала.

Таблица

Основные технические характеристики
установок финишной очистки азота, инертных газов и их смесей

Наименование параметра	Размерность	Величина
Диапазон производительности	нм³/ч	0-40
Диапазон рабочего давления	МПа	0,5-1,0
Объёмные доли примесей на входе в установку: - О₂, СО, СО₂ - влага	ppmᵥppmᵥ	100 200
Объёмные доли примесей на выходе из установки: - О₂, СО, СО₂ - влага	ppmᵥppmᵥ	0,02 0,1
Число частиц мехпримесей размером более 0,01 мкм: - в подаваемом на очистку азоте - в очищенном азоте	шт/ндм³	Не норм. 0,03
Электропитание переменным током: - напряжение - частота - максимальная потребляемая мощность	В Гц кВт	220 50 3,0
Габаритные размеры (длинна × ширина × высота), не более	м	0,9×0,9×1,9
Масса, не более	кг	250
Средний срок службы, не менее	лет	10

УСТАНОВКИ ТОНКОЙ ОЧИСТКИ АЗОТА, ИНЕРТНЫХ ГАЗОВ И ГАЗОВЫХ СМЕСЕЙ